TMC主动式压电陶瓷隔振平台
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SEM-Base 主动式压电陶瓷隔振平台融入了TMC 的和的STACIS 主动隔振技术,是专为电子扫描显微镜而设计的隔振平台,适用于绝大多数的SEM。
SEM-Base 无疑是改善实验室地面环境的理想解决方案。
TMC 的STACIS 主动隔振技术专利,使得SEM-Base可以兼容SEM 内部预装的任何隔振系统,主动消减地面低频振动,主动隔振从0.6Hz 开始。在1-1.9Hz 时,振动衰减可达50-80%;2Hz 以上的振动衰减可达90%以上。SEM-Base 采用的惯性振动传感器和压电陶瓷作动器,集成为一个高刚性的平台系统,对于有振动问题或是潜在振动问题的地面,几乎是适用的解决方案。
SEM-Base设计和制造的集成化,将安装平台的工作简化到了,简单的定位和设置之后即可适用。