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原装进口日本KASHIYAMA樫山工业SDL36M60干式真空泵货期短

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商品详情

原装进口日本KASHIYAMA樫山工业SDL36M60 干式真空泵 货期短
产品品牌:日本KASHIYAMA樫山工业
产品名称:干式真空泵
产品型号: SDL36M60
报价说明:
所有产品均为原装进口,产品价格随日本汇率波动变化,网上公示价格不是终报价,真实价格以实际询价为准,报价有效期约:一个月,欢迎询价!
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供应商:南京小溪机电科技有限公司
联系人:朱小姐 173 6615 1584 同号
:297 340 4680
邮箱:sales01@
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ウエハー、FPDの大型化に対応组合せにより大排気量化可能。15万L/min以上のご要望にもお応えします。
タクトタイムの短缩大気侧排気速度の确保による、大型ロードロックチャンバーの高速排気

型式 大排気速度(L/min) 到达圧力(Pa)
SDL12E50 25,000 0.8
SDL20E50 50,000 0.8
SDL36M60 60,000 0.5
SDL40E60 70,000 0.8
SDL40E201 80,000 5.0
SDL40EW201 150,000 5.0
SDL80201 170,000 5.0

型式 大排気速度(L/min) 到达圧力(Pa)
MU100X 1,660 1.5
MU180X 3,000 1.5
MU300X 5,000 0.5
MU600X 10,000 0.5
MU1200X 20,000 0.5
MU20M18X 30,000 0.5


型式 大排気速度(L/min) 到达圧力(Pa)
MU100P/H 1,660 3.0
MU180P/H 3,000 5.0
MU300P/H 5,000 0.5
MU600P/H 10,000 0.5
MU1200P/H 20,000 0.5
MU20M18P/H 30,000 0.5

型式 大排気速度(L/min) 到达圧力(Pa)
NeoDry7E 110 5.0
NeoDry15E 250 1.0
NeoDry30E 500 1.0
NeoDry36E 600 1.0
NeoDry60E 1,000 1.0
NeoDry300E 5,000 0.3

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