电热膜纳米半导体超晶格

纳米半导体超晶格电热膜发热元件是我司自主研发的一种多晶硅半导体电热新材料，它利用硅有低电阻率的特点,同时在硅元素中按比例掺合金属和非金属元素后，利用气相沉淀法，经过800°C加热烧结后，反应生成硅导化合物，使其沉积在载体内表层同时获得3-5微米厚的导电发热膜层。这种导电发热膜层与多晶硅板或多晶硅管成为一体。多晶硅板或多晶硅管既是导电介质的载体同时也是绝缘体。在电加热工艺应用的广大行业里具有较大的安全性。