工业氦气检测

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氦气纯度：工业氦   氦气纯度：≥99%  氖（氢）、氧（氩）、氮、甲烷总含量，%≤1   水分含量，露点，≤-43℃

纯氦    优等品一等品合格品  氦气纯度，%≥99.99599.99399.99  氖含量，ppm≤152540

氢含量，ppm≤357   氧（氩）含量，ppm≤355   氮含量，ppm≤101725   一氧化碳，ppm≤111

二氧化碳，ppm≤111   甲烷量，ppm≤111   水分含量，ppm≤101520

高纯氦气   氦气纯度>99.999%，杂质含量（ppm）：O2≤0.5，N2≤1.0，CO≤0.5，CO2≤0.5，

CH4≤0.5，H2O≤0.5，Ne≤8.0；

超纯氦气   氦气纯度>99.9999%，杂质含量（ppm）：N2≤0.5，O2≤0.5，Ne≤0.5，CO≤0.1，

CO2≤0.1，THC≤0.1，H2O≤0.2；