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超纯水设备采用预处理、反渗透技术、混床、EDI装置以及后级处理等方法，将水中的导电介质几乎完全去除，又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。 超纯水设备又称做：超纯水器，超纯水机，超纯水仪，超纯水系统，实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧，10兆欧以上的水才叫超纯水。一般超纯水出水能达到18.25兆欧。
工艺简介
①预处理
1、 传统工艺由机械过滤器、活性炭过滤器和保安过滤器组成。
2、 新工艺由机械过滤器、保安过滤器和超滤组成。
②反渗透系统
1、 由高压泵和反渗透组成
2、 可分为反渗透和二级反渗透
③ 精处理系统
1、 离子交换和微孔过滤器组成
2、 EDI和微孔过滤器组成