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金属剥离清洗机

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商品详情

一、设备名称
设备名称:金属剥离清洗机
整机尺寸:具体尺寸根据实际图纸确定
二、设备槪况
尺寸(参考):1750mmWx1400mmDx1900mmH(具体尺寸根据实际图纸确定)
清洗量:6寸25装花篮2篮;
重量:500Kg( 大约);
三、主体构造特点
外壳:不锈钢304 板组合焊接而成。
安全门:无安全门,采用敞开式设计;
管路系统:药液管路采用不锈钢管,纯水管路采用CL-PVC管;
阀门:药液管路阀门采用不锈钢电磁阀门;
排风:后下抽风,动力抽风法兰位于机台上部;
隔板:药液槽之间配有隔离板,防止药液交叉污染;
照明:机台上方配照明(与工作区隔离);
机台支脚:有滑轮装置及固定装置,并且有高低调整及锁定功能。
三色警示灯置于机台上方明显处。
四、工作槽参数
1、剥离洗槽
槽体:不锈钢316,有效尺寸405×220×260mm;
化学药品:剥离洗液;
药液供液:人工手动加入;
工作温度:60℃并可调;温度可调;
加热方式:五面体贴膜加热/投入式加热器加入热;
液位控制:采用N2背压数位检测;
计时功能:工艺时间可设定,并可调,到设定时间后声鸣提示,点击按钮后开始倒序计时;
批次记忆:药液使用次数可记忆,药液供入时间可记忆,设定次数和设定时间到后更换药液;
排液:排液管道材质为不锈钢管,按钮控制;
槽盖:配有手动槽盖;
2、IPA槽
槽体:不锈钢316,有效尺寸405×220×260mm;
化学药品:IPA;
供液:手动供液
工作时间:约5min并可调;
工作温度:常温;
排放: 槽体底部单直排;
3、QDR槽
槽体:长×宽×高= 405×220×260mm,NPP板焊接而成;
供水:双管路自动供水,3/4供水管径,1/2溢流给水管,气动阀控制;
工作温度:RT;
溢流方式:四面溢流,溢流口为波纹状;
喷淋: 由槽体顶部两侧的DIW喷淋管和喷嘴实现;
鼓泡:槽底部安装N2鼓泡系统,均匀鼓泡,也可根据需要关闭;
排放:气动阀控制快速排放,N P P排放管路,快速排放时间≤7秒;
工艺流程:水满→放入花篮→氮气鼓泡打开→溢流漂洗+氮气鼓泡→快排阀打开,快速排放,→喷淋→快排阀关闭,同时底部注水,一次冲洗快排工艺结束;

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南通华林科纳半导体设备有限公司为你提供的“金属剥离清洗机”详细介绍
南通华林科纳半导体设备有限公司
主营:半导体清洗,腐蚀机,蚀刻机,显影机
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