PVD真空等离子镀膜设备

产品特色
机台尺寸 : 1900 (W) x 4000 (D) x 2100 (H) mm
有效镀膜空间 : O480 x H550 mm
夹层式直接水冷不锈钢腔体
搭载真空涡轮帮浦
4~8组PVD镀膜靶源
8轴之3层公自转机构可大幅提升系统批次产量与均匀性
整套置具台车进出方便Loading/Unloading 生产
全自动化镀膜生产
远端网路诊断及程式除错
镀膜总类：TiN、CrN、AlTiN、 TiAlN、TiSiN…


应用产业
铣削、车削、钻孔、攻牙之刀工具
成型、冲压之模具