PBO-H8300S系列正型i-line光刻胶
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PBO-H8300S系列产品是正型i-line光刻胶,可以用作应力缓冲层或钝化层。该薄膜与多种基板具有良好的粘附性,具有的电绝缘和介电性能、高Tg和优良的机械性能,能够经受应用后处理的热和化学暴露,且具有的伸长率,防止开裂。
1)水性溶剂显影,膜厚范围: 1.5-15μm;
2)储存时间长,稳定性高;
3)良好的分辨率,可应用于3μm@3μm及15μm@15μm场景;
4)固化膜力学性能,断裂伸长率>55%;
5)良好的热稳定性,Td5%>440℃;
6)与各种界面相容性好,与Si, Au, Ti, SiO2, Si3N4, Cu, Al等界面粘结力高;
7)抗化学侵蚀性良好,可承受大多数有机溶剂、无机酸、碱溶液的腐蚀,适用于BUMP 和WLP;性能,可通过可靠性验证;
8)高纯度,低金属离子含量,Na+< 0.1 ppm, K+<0.1 ppm ...