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氦质谱检漏仪的原理
氦质谱检漏仪是一种用于检测氦气的质谱仪，其内部有一套高真空系统，以及一个与其相连的质谱室。外界的气体进入到检漏仪质谱室后，会在离子源处被电离，产生离子。气体离子被加速后进入磁场，其路径会被偏转，由于不同的离子荷质比不同，偏转半径也不同。在合适的地方设置一个狭缝，就可以仅让示踪气体——氦气的离子通过并到达收集极。收集极得到的离子流信号和进入检漏仪的氦气量多少，即泄露率的大小成正比。通过测量该信号，就可以测量泄漏率。为什么使用氦气作为示踪气体氦质谱检漏法用氦气作为示踪气体，有下面几个主要原因：
氦气在环境空气中含量极少（5ppm），环境本底比较低。
氦气分子很小，并且扩散很快，可以缩短检测器响应泄漏的时间。
氦气容易获取，、不易燃并且属于惰性气体。