出售标先偏压各种规格镀膜偏压电源

BOMB VS 系列偏压电源工作于高频二级变换模式，有单极脉冲、直流叠加脉冲、低压直

流三种输出方式，主电源电压、副电源电压、脉冲宽度立调整。灵活的输出方式适用于工

具膜、装饰膜以及工艺开发等多种应用环境，特别是直流叠加脉冲的方式，在控制工件温

度的同时，本底直流电压有效维持了偏压的连续状态，对工具镀膜十分有利。

电源功率范围

10-80KW [不包括副电源]

输入电源

AC380V三相四线制50-60HZ±10％

输出方式

脉冲/ 直流叠加脉冲/低压直流

输出电压

0-180V 0-500V 0-1000V [主电源，脉冲输出时为峰值电压]

脉冲频率

40KHz

脉冲百分比

10-90％连续调节

a副电源功率

6KW/12KW

a 副电源输出电压

DC0-100V

输出电压稳定率

1%[电阻性负载]

冷却方式

10-60KW风冷60-80KW 水冷

使用环境

环境温度 0-40℃

环境湿度 相对湿度≤85％

空气清洁 无粉尘 无腐蚀性易燃性气体 通风良好

冷却水

清洁 不含矿物质及其他可溶性物质

水温 20-30℃

压力 0.15±0.05Mpa

通讯方式

模拟/RS485/RS232