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本发明的直拉式单晶生长炉中，经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长，平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L，有效降低了生产成本，且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性，还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中，碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间，且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置，有效地减小了炉内空间，便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出，且利于减少热能和的消耗量，使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外，由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通，分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，工作原理如下：取出晶棒后，将硅料加入加料坩埚62，盖上外部加料器6的上盖63，将外部加料器6真空抽到合适压力值时打开旋阀64，硅料落入外部化料器7中并在外部化料器7中被熔化，熔化后的硅料流入主炉室坩埚21，当外部化料器7中的硅料加完后，再关闭旋阀64，把外部加料器6充常压，打开外部加料器6的上盖63继续加料，如此循环，进而完成外部加料、化料，本发明可实现连续拉晶，选用合适的主炉室坩埚21可以实现连续拉制五六根晶棒，可大幅减少冷却、拆炉、装炉的时间，进而提高生产效率；本发明可通过加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置将外部加料器6移出工作位并旋开，进而方便拆炉和清理，本发明的加料器升降驱动装置和加料器旋转驱动装置配上工装还可以吊装主炉室2的零部件；本发明可通过副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室3移动，