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基本的清扫
一般保持无尘室的清洁度，需要一系列的作业流程。制定清扫标准及符合标准的基本清扫方法。
基本清扫的分类清扫
从清扫前的状态到清扫完毕后达到期望的洁净度，可以分为三类：“粗清扫”、“普通清扫”和“精密清扫”。
a)“粗清扫”---去除直径在50μ以上的大颗粒。这种类型的颗粒一般在地面，更衣室，风淋室常见。生产作业过程中发生的，磨耗坏损、溢出的异物是污染接触面及地面的原因之一。建筑物发尘和设备维修也是多产生大颗粒异物的原因。
b)“普通清扫”---去除直径在10μ~50μ较小颗粒的异物。适用一般无尘室接触面。通常，墙壁和作业台包括在普通清洁范围之内。在粗清扫之后，还会有很多异物残留，普通清扫可以达到更高的洁净度标准。
c)“精密清扫”---去除10μ以下的残留异物。精密清扫是在产品制造场所和保管场所以及附近的接触面进行。

真空清扫是粗清扫和普通清扫常用的，一般区域和区域清扫中重要的步。真空清扫是水+拖把清扫的前提，对除去大颗粒异物，玻璃碎屑效果明显，但是并不能取代水+拖把清扫。真空清扫请务必按同一方向进行，以免造成地面及作业员周围空气乱流。真空清扫使用HEPA（滤网）、ULPA（低效滤网）及真空除尘器。如果有可吸入液体的真空吸湿器，在拖地时和拖完后，地面上剩余的水或浮游颗粒可被去除，起到干燥作用。

机械设备有很多供输管道、电线和连接部位，清扫时要注意检查管道和电线的破损情况，断开电源之后再进行清扫，防止危险的发生。机械设备有很多与产品直接接触的接触面，好进行等级划分，根据洁净度等级要求选择合适的清扫方式，并对不同等级区域进行标示，方便清扫正确进行。
a)设备的外表面跟无尘室内的洁净度是一致的。同墙壁、水平面、垂直面一起按照合适的顺序清扫。
b)设备的内表面分为设备内壁和内部设备接触面。内壁将重要的产品生产区域隔离开，内壁的清扫应该在内部设备接触面清洁之后再进行清洁。内部设备接触面的清扫除了要清洁之外还要定期保养维护。
c)与产品接触的接触面是离产品近的地方，因此有产品在时不可按照清扫顺序及流程进行，需根据洁净度要求进行，并以文件方式规定。