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无尘工业烤箱适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门。

无尘工业烤箱也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

无尘高温箱系列用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

加热1、加热步骤在气压稳定状态下进行,否则易导致内外压强及温度差,造成外部大气冲入箱内等突发状况;2、升温过程中,加热指示灯长亮,达到设置温度后,加热自动停止,同时指示灯熄灭。待温度低于设置温度时,加热再次启动,加热指示灯亮;3、加热指示灯及温度需正常显示,若指示灯不亮需及时关闭电源并联系仪器负责人。

按动“加热”开关(加热器通电),无尘洁净烤箱进入正常工作,根据工艺要求设定温度,当台车烘箱温度上升接近设定值时,加热器电源时通时断,台车烘箱进入恒温工作。无尘洁净烤箱操作结束后应立即关闭电源开关,做好无尘洁净烤箱的清洁和保养工作。无尘洁净烤箱正面上方设有一圆形进气口,调节进气口大小可调节烘箱的进气量,其进气量增加,箱顶排气口排气量也增加,可根据实际情况合理调节进排气量,一般无尘洁净烤箱刚开始启动或温度较低时关闭进气门,以利无尘洁净烤箱的温度上升,当无尘洁净烤箱内温度较高时打开进气门,以利于水分排出。

一般精密烘箱的内部循环方式有水平送风和垂直送风,为了达到内部无尘的环境,需要在出风口的位置增加高温过滤装置(又分为千级和百级过滤器)。烘箱内的空气通过回风口后,一部分经过排气口排除箱外,另外的经过循环通道再次加热,后通过过滤器后回到工作室。除了过滤空气外,另外要尽量避免工作过程中产生灰尘,需要选用的材料、电器。如加热管需要在高温下不能产生颗粒。

无尘烤箱的工作原理是通过利用热沉降法来烤材料。当烤箱内部气流流动时,热量会被沉降到接近材料表面,而表面温度则会逐渐提高,从而完成烤制过程。在烤箱内,热量会被比较地混合和分散此热量可以全面加热材料的表面和内部,使整个材料得到均匀的加热同时,由于热量的比较均匀的分布,可以明显降低蒸发现象,从而大大减少烟尘的排放。

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