卧式激光干涉仪上海乾耀光学
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G100和G150卧式激光干涉仪的有效口径分别为100mm(4英寸)和150mm(6英寸)。乾曜光学 将世界干涉测量技术与大尺寸、大曲率镜片测量的市场需求相结合,优化光学系统和机械系统 结构,将的成像系统和图像采集系统,稳定的激光干涉技术和1-6.7倍图像放大功能等一系列 高精技术融合,满足高精密光学元件和光学系统的测量的要求。
G150激光干涉仪配置6英寸球面标准镜,能够有效地解决大口径凸面镜的面形和曲率测试。
主要用途: 球面类光学元件 (包括各类玻璃、塑料透镜、球 面反射镜、光圈量规、球面轴承 等)表面光圈、局部形变的测量, 球面曲率半径的测量(配合光栅 尺)。平面类光学元件(平面镜、 水晶、陶瓷、标准量块等)的表 面光圈的测量。光学系统的在线 监视装调和系统精度测量。
仪器规格参数表
产品型号
G100
G150
有效通光口径
101.6 mm(4英寸)
152.4mm(6英寸)
测量方式
菲索干涉原理
光源
氦氖激光(632.8nm)
连续变焦倍数
1-6.7倍
光路切换
对准(十字叉丝)与测试(干涉场)模式电控切换
显示方式
计算机或立监视器实时显示
标准镜头
平面镜,F0.65,F0.75,F1.0, F1.5,F2.2, F3.3,F5.0,F7.1和F10.7等
球面标准镜精度
PV:优于λ/10和λ/20
PV:优于λ/10
平面标准镜精度
PV:优于λ/20
PV:优于λ/20
仪器尺寸(长X宽X高)
630X400X410mm
750X420X460mm
仪器重量
40KG
50KG
电源
AC100-240V 50/60Hz