激光平面干涉仪上海乾曜光学科技有限公司

G200M，G150M和G150S激光平面干涉仪为正立式结构，通光口径分别为200mm和150mm。 G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试大尺寸光学系统和光学元件不能全口径 测试的不足，改善提高了大口径光学系统和光学元件测试精度。
G150M型平面干涉仪专为计量级测试的需求设计，适用于计量机构检定和校准光学平晶。其集 、命氦氖激光器，1-6.7倍图像放大功能，的成像系统和图像采集系统，精密平面 标准镜等一系列高精技术，通过优化光学系统和机械系统结构，实现高精密平面光学元件的测量。
G150S为G150M的简化版本，适合光学车间的现场检验。
主要用途：平面类光学元件（包括玻璃、金属、陶瓷等）表面面形、光学平行度和材料均匀性的 测试；准直系统波前质量的测试。
仪器规格参数表

产品型号
G200M
G150M
G150S
测量方式
菲索干涉原理
菲索干涉原理
菲索干涉原理
有效通光口径
200mm
152.4mm（6英寸）
152.4mm（6英寸）
标准镜材料
熔石英（康宁7980）
熔石英（康宁7980）
熔石英（康宁7980）
光源
氦氖激光（632.8nm）
氦氖激光（632.8nm）
半导体激光（635nm）
连续变焦倍数
1-6.7倍
1-6.7倍
固定倍率
光路切换
对准（十字叉丝）与测试（干涉场）模式电控切换
显示方式
计算机或立监视器实时显示
平面透过标准镜
PV：优于λ/15
PV：优于λ/20，可定制更标准镜
平面反射标准镜
选配
标配
选配
衰减过滤片
选配
选配
选配
仪器尺寸·(长X宽X高)
550X550X1100mm
550X550X1070mm
550X550X1070mm
仪器重量
100KG
80KG
80KG
电源
AC100-240V 50/60Hz
AC100-240V 50/60Hz
AC100-240V 50/60Hz
气浮平台（长X宽）
标配(1200X600mm)
标配（1200X600mm）
选配