气体配比混合器质量流量计控制器

质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)用于对气体的质量流量进行精密测量；质量流量控制器(Mass Flow Controller缩写为MFC)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括； 电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入；以及真空镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器。
多通道质子混气供气系统（主要产品是1-4通道混气供气），可将多种气体安一定比例均匀混合后通入到管式炉中。各种气体的流量是通过精密的质量流量计来控制，流量计和混气罐都安装在一个移动柜内。此系列设备可用于搭建CVD系统，也可为样品退火提供所需的气氛环境.


产品和保修

1.本公司生产的MFC/MFM产品在出货两年以内，如果用户按照说明书要求使用，并且产品没有遭受物理损害、污染、改装或翻新，我们产品的材料、加工和性能的质量，若有问题，免费维修。

2.用户收到货物后，有责任检查及核对货物，并通过传真、电话或电子邮件的方式及时通知本公司销售部有关收货情况。

3保修期内，产品由本公司或授权的服务中心修理，否则，产品的保修是无效的。

4.在两年保修期以内，维修是免费的。如果保修期过了，在维修前将会通知用户需要更换的部件及维修费用。维修后，在90天以内对修理的部分进行保修，保修件包括易损件 (四氟或密封圈等)。

5.用户使用过有毒、有污染或腐蚀性气体的产品， 如果没有出示清除污染及净化处理的证明，本公司将不负责修理或保修。



保修对使用的要求

a.气体洁净且没有颗粒物， 没有液体， 这就要求在MFC/MFM的上游气路中安装<30μm 的过滤器。

b.输入的气体压力符合产品的耐压标准， 不能超过该产品要求的大压力。

c.产品的使用气体与用户订货选择的密封材料相适应， 用户有责任按照可用的安全规章使用每种气体。不正确的使用产品会使保修无效，由于不正确的使用所导致的损害不能 归咎于本公司。

d.对电子线路的要求；小心按规定连接系统的接线， 不正确的接线会导致产品内部电路板的损坏。若自备MFC电源，需要电压波动小于5mV的高抗干扰稳压电源。

e.气路的连接；仔细的安装密封管件， 所有的密封管件经过单检查并且没有划痕。

f.禁止自行拆开MFC/MFM。如果自行拆卸造成损坏，则本公司承诺的保修无效。

联系电话：
手机/：152 8682 6848
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联系人：李工