进口高纯气体减压器-进口316L气体减压器

进口高纯气体减压器-德国莱克U22系列减压器

德国莱克阀门中国总代理-germany lik valves international

进口高纯气体减压器适用于高纯气体、非腐蚀性气体、腐蚀性气体和有毒气体。膜片和阀体的密封采用了硬密封的设计，降低泄漏率，同时提高了安全性和使用寿命。
进口高纯气体减压器结构特点：

316L不锈钢母体

膜片式硬密封，泄漏率低

可采用面板安装和后座安装

压力表标准连接：1/4" FRS(M), 可选1/4" FRS(F)

内部电解抛光

高洁净的组装和包装适用于高洁净度的半导体行业

经氦气测试

进口高纯气体减压器材质：

母体：316L

阀座：PCTFE, Vespel®

膜片：316L

上盖：316

功能特性：

流量：Cv=1.1

母体泄漏率：2×10-8 atm cc/sec He

阀座泄漏率：4×10-8 atm cc/sec He

设计验证压力：大额定压力的150%

设计爆破压力：大额定压力的400%

进口高纯气体减压器工作条件：

大的入口压力：500 psi (35 bar), 3000 psi (206 bar)

出口压力：0~25 psi (1.7 bar),0~50 psi (3bar), 0~100 psi (7 bar),0~250 psi (17 bar)

温度：-40°C~74°C (-40°F~165°F)

流道表面：

标准：Ra 20µin

可选：Ra 10µin

内部容积：

22.6cc

流量特性曲线：

安装尺寸图：