高压型控制器/耐高压型气体质量流量计/数字式模拟式高耐压气体质量流量控制器

产品介绍：本公司生产的热式气体质量流量计/控制器，为精度高、响应快、稳定性好、的自动测控产品，其流量精度不受气体压力、环境温度的影响，适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。产品系列完整，可选择数字式、模拟式、普通型、型、耐高压型，超大流量型，应用领域广泛，可用于真空及高压等特殊领域
简要描述：用于对小流量气体的质量流量进行精密的测量和控制，具有耐高压，精度高，稳定性好，可选模拟电路或数字电路，可靠性高等特点。广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
产品特点：
耐高压
精度高
可选模拟电路或数字电路
响应速度快
产品用途：
广泛用于电子工艺设备、真空镀膜、石油化工、冶金、制药、光纤熔炼、分析测量仪器、制气配气等行业。
技术参数：
产品型号 LF420-F（模拟型） LF485-F（数字型）
满量程范围 SCCM 0～5，10，20，30，50，100，200，500
SLM 0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30
量程比 控制器50:1 流量计100:1
精度 ±1.0%F.S
线性 ±0.5%F.S
重复性 ±0.2%F.S
阀门类型 常闭阀
响应时间 ≤1S-3S
工作压差 0.1...0.5Mpa
大耐压 10MPa
工作环境温度 5...45℃
泄漏率 1×10-8Pa.m3/s
通信信号 0-5V / 4-20MA / RS232-485 MODBUS协议
供电方式 24VDC（250mA）
密封材料 丁晴橡胶 氟橡胶
接头尺寸 3mm 6mm 8mm 10mm 1/8” 1/4” 3/8”
电器接头 DB15针