CVD化学气相沉积实验1700度CVD实验炉

产品用途：主要用于稀土制备、电子照明、晶体退火、生物陶瓷、电子陶瓷、特种合金、磁性材料、精密铸造、金属热处理等行业进行真空烧结、气氛保护烧结、真空镀膜、CVD实验、物质成分测量等场合。
技术参数：
产品型号 TF1700-CVD
炉管尺寸 60*1000mm
额定电压 AC220V 50/60Hz
设备总功率 7kw
炉体结构 双层壳体结构，配有风冷系统，可使炉体表面快速降温
温控仪表 具有PID调节、自整定功能，30段升降温程序
工作温度 高温度1700℃，连续工作温度≤1600℃；控温精度±1℃
升温速度 推荐≤10℃/min，快升温速度30℃/min
加热元件 硅钼棒
炉膛材质 氧化铝多晶体纤维
炉管材质 刚玉管
测温元件 B型热电偶
工作正压 0.02mpa
加热区/恒温区 300mm/150mm
供气系统 4路质量供气，量程：0-500ml/min
准确度:±1.5%；重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
真空系统 极限真空度：1.33*10E-4Pa；抽气速率：600L/S
复合真空计：ZDF-5227
电阻规：KF25，ZJ-52；电离规：KF25，ZJ-27
操作安全 开门断电、超温报警、漏电保护功能
质量 质保期1年，相关耗材除外，如加热元件易耗材等
标准配置 防护手套1双；坩埚钳1把；坩埚舟1只；刚玉管1根；炉塞4个；炉勾1把；6号内六角（法兰）1个；水冷法兰2个；高压气管1套；高温密封圈8个；产品说明书1份；仪表说明书1份；保修证书1份。