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为了方便副炉室3移动到取晶位,并方便副炉室3的拆解、清理,连续拉晶单晶炉还包括副炉室升降驱动装置12和副炉室旋转驱动装置13,所述所述副炉室3通过副炉室旋臂14连接在副炉室升降驱动装置12上,以便通过副炉室升降驱动装置12驱动副炉室旋臂14升降,并通过副炉室旋臂14带动副炉室3升降,所述副炉室旋转驱动装置13连接在副炉室升降驱动装置12和副炉室旋臂14之间,以便使得副炉室旋转驱动装置13随副炉室旋臂14一起升降,并通过副炉室旋转驱动装置13驱动副炉室旋臂14旋转,副炉室旋臂14又带动副炉室3旋转。
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如果圆柱体放在线圈,那么圆柱体周边的温度是一样的,圆柱体加热和熔化也没有产生有害气体、强光污染环境。中频炉广泛用于有色金属的熔炼[主要用在熔炼钢、合金钢、特种钢、铸铁等黑色金属材料以及不锈钢、锌等有色金属材料的熔炼,也可用于铜、铝等有色金属的熔炼和升温,保温,并能和高炉进行双联运行。]、分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,本发明的直拉式单晶生长炉中,经 输入管输入的气压为0. 8 x 103pa0. 9 x l0a,流量为30L/min。 该流量不但不影响该炉中单晶的生长,平均每个直拉式单晶生长炉每 天可少消耗1440L,有效降低了生产成本,且利于在硅单晶生长过程 中单晶分子排列结构的整齐性,还利于提高电阻率的均布性。(2)本发明 的直拉式单晶生长炉中,碗形的气流导向装置设于坩埚支持器下方和炉底部的排气口之间,且气流导向装置的中轴孔及一对电极孔分别与该炉的石 墨中轴及一对电极孔配合设置,有效地减小了炉内空间,便于迅速及时地 将炉内的一氧化硅与的混合气体排出,且利于减少热能和的消耗量,使原有的引晶功率从65KW减到61KW;另外,由于该炉的排气口与气流 导向装置的各通气孔相连通,

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