高纯材料生产和封装用瑞泽氩气净化器氩气纯化机
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高纯材料生产和封装用瑞泽氩气净化器氩气纯化机
高纯材料生产和封装氩气净化器、纯化装置(带氮通道直读光谱仪)可与美国热电,德国斯派克、OBFL、布鲁克;瑞士ARL,日本岛津,北京纳克,英国阿朗,北京瑞利等多家光谱仪公司生产的直读光谱仪、荧光光谱仪、辉光光谱仪配套使用,以增强分析数据的可靠性和稳定性,同时可以较大的节省购买高纯氩气的成本。RZ-YA-4C尤其适用于与带氮通道的直读光谱仪配套使用,同时该净化机也可用作高纯材料(如单晶硅、多晶硅、高属)生产的保护气氛。
净化原理
该净化机利用催化剂促使氩气中的微量氧气与碳反应生成二氧化碳,从而除去氩气中的杂质氧气,再利用分子筛吸附脱除氩气中的H2O、CO2等杂质,再利用合金吸附剂吸附脱除氩气中剩余的的N2等惰性杂质,即可得到高纯氩气。
氩气净化机的技术参数
对原料氩气要求
一般瓶装纯氩,液氩、控制较好的管道氩气。
杂质要求: O2≤1000PPm, H2O≤1000PPm。
输出纯气
纯度:99.9999%
杂质含量:
O2≤0.1PPm,
H2O≤1PPm(即露点≤-76℃),
N2≤0.5PPm
CO+CO2≤0.1PPm,
S、P的氧化物≤0.1PPm。
尘埃粒子数(≥0.3μm)3-5个/升。
工作压力:0.4-1.5MPa。
处理气量:4NM3/h(其余流量需要定制)。
咸宁
高纯材料生产和封装瑞泽氩气净化器氩气纯化机
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