Packtel1025紧凑型润滑油涡轮分子泵系统
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Packtel 1025是种紧凑、强劲的泵系统,可使气压降到 10-5 / 10-8mbar。为了使7或30l/s的涡轮泵与5m3/h的帕斯卡旋转叶片泵相适应,应选用1025族的配件。
该系统可在多种版本应用,以满足客户的应用需求。推荐安装在工作台或真空腔下。
应用 (Packtel 1025建议应用于低真空环境中)例如:
真空校准站
电子束焊接
科学仪器
粒子加速器
涡轮泵后台
离子泵再生系统
气体回填装置
负载锁抽水
低温泵再生
真空加工工艺
小溅射设备