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浙江长兴单晶炉回收离子泵回收现场报价

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浙江长兴单晶炉回收 离子泵回收现场报价

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以上所述的具体实施例,对本发明解决的技术问题、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明,所应理解的是,以上所述仅为本发明的具体实施例而已,并不用于限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所做的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。
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所述气流导向装置20的中轴孔2-1与该炉的石墨中轴21活 动密封连接,以防止因该中轴孔2-1与石墨中轴21之间的间隙而漏气,影 响排气效果,气流导向装置20的电极孔2-2分别与该炉的电极柱15密封连 接,以防止因该电极孔2-2与电极柱15之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的保温 筒17密封连接,以防止因气流导向装置20的上端部2-4的外壁与该炉的 保温筒17之间的间隙而漏气,影响排气效果。所述气流导向装置20各通气孔2-3与该炉的排气口 13通过通 气管19相连通,以提高排气效果。所述气流导向装置20由石墨制成,石墨具有强度高、抗热震性好、耐 高温、抗氧化、电阻系数小、耐腐蚀、易于精密机加工等优点。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料,并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统,主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统、传热及支撑系统、导流系统、保温系统等。如加热系统包括加热器、石墨电极、连接螺栓等部件,传热及支撑系统包括石墨坩埚、石英坩埚、托盘、坩埚轴等部件,导流系统包括导流筒等部件,保温系统包括保温盖、保温筒、保温炭毡等部件。热场温度区域的分布,直接影响了拉晶生产是否能顺利进行,以及晶棒的拉速和品质。

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