EVG单双面键合光刻机-EVG光刻机

EVG单双面键合光刻机
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EVG620 是一款非常灵活和可靠的光刻设备，可以是半自动也可以配置为全自动形式。EVG620既可以用作双面光刻机也可以用作150mm硅片的对准设备；既可以用作研发设备，也可以用作量产设备。精密的契型补偿系统配以计算机控制的压力调整可以确保良率和掩膜板寿命的大幅提升，进而降低生产成本。EVG620的对准台设计在的对准精度和曝光效果的同时，大幅提高了产能。
二、应用范围
EVG光刻机主要应用于半导体光电器件、功率器件、传感器、混合电路、微波器件及微电子机械系统（MEMS、）硅片凸点、芯片级封装以及化合物半导体等，涵盖了微电子领域微米或亚微米级线条的芯片的光刻应用。
三、主要特点
1. 高分辨率的顶部和底部显微镜
2. 双面光刻和键合对准工艺
3. 自动的微米计控制曝光间距
4. 自动契型补偿系统
5. 的全局光强均匀度
6. 快速更换不同规格尺寸的硅片
7. 高度自动化系统
8. Windows图形化用户界面
9. 可选配Nanoalign技术包以达到更高的工艺能力
10. 薄硅片或翘曲硅片处理系统可选
11. 光刻工艺模拟软件可选
12. 三花篮上料台，可选五花篮台</a>