Aerotech纳米级转台

Aerotech纳米级转台
销售工程师赵贵军1-8-5-1-8-5-5-9-1-8-8

AEROTECH设计和制造的运动控制和定位系统。用户覆盖世界各地的工业，，科学和研究机构。AEROTECH精密的运动控制产品（motion control products）成功应用于医疗设备和生命科学，半导体和平板显示，/航空宇宙，电子制造和测试，汽车等行业。

产品包括
1.龙门结构
2.直线平台
3.纳米平台
4.旋转平台
5.光学平台
6.垂直起降平台
7.手动平台
8.运动控制器
9.伺服放大器
10.直线电机
11.旋转电机
气浮转台

20世纪70年代:引进了个基于滚珠螺丝的定位系统的线性伺服驱动这是革命的进步在系统吞吐量-五倍于丝杠和步进电机技术。适用于IBM、杜邦和
西屋电气。粗细调节定位机构美国# 3727471)。在德国设立的子公司。1980年代:介绍UNIDEX系列基于微处理器的运动控制器。研制了无刷放大器和旋转电机，增加了系统的可靠性吞吐量、可靠性和减少的维护。转换放大器与MOSFET驱动电路(美国#4,554,512)，铣削机床变换器(美国#4,426,763)，微步翻译
控制器(美国#4,652,806)，用于闭环转矩角控制同步电动机(美国#4,884,016)。建立子公司在英国。
1990年:介绍了U500型基于pc总线的运动控制器UNIDEX511年立,多轴运动控制器。
1991年:连续条纹检测位置干涉术(美国)# 5018862)。介绍了AOM系列AZ/EL光学支架。
1992年:正交误差修正(美国# 5134,404)。介绍了BLM系列直线无刷电机。
1993年:引进BM系列无刷旋转电机。
1994年:引进ABL8000空气轴承级和BA系列放大器。
1995年:引进ALS2000系列直线电机。开发了ABL9000 h桥空气轴承级。
1996年:引进AGS10000直线电机驱动龙门。
1997年:推出BA智能驱动。
1998年:直线电机驱动垂直升降台(美国)# 5731641)。获机械设计成果奖的方式。介绍了BLMF系列扁平直线电机和BAL直线电机放大器。
1999年:引进ABL2000线性空气轴承级。
2000年:幻灯片与方法机械设计成果奖。
2001年:Aerotech开发了个基于软件的32轴智能飞机运动，视觉，PLC，机器人和I/O平台-自动化3200。自动化3200被评为年度50个具创新性的产品之一设计新闻的读者。2001年FiberAlign130胜离岸金融中与会者选择奖。2002:FiberMax棉赢得NFOEC 2002与会者选择奖。自动化3200被评为2002年度佳产品入围2002年度PD & D工程奖前50名产品。一种校准的编码器倍增器(美国#6,356,219和#6,501,403)直接驱动倾斜和测角仪级(美国#6,442,851)占地面积小的垂直升降和旋转工作台(美国#6,486,574)。
2003年:Aerotech开发了ADRT/ADR160旋转级;AVS100 / AVL125提升阶段;ASR2000主轴;ATS1000 / ALS1000线性阶段;ABL1000空气轴承阶段;提单线性放大器。直接驱动#6,588,081阶段。
2004:航空科技扩展洁净室，包括大型系统iso14644 -1类6和特定于单元的ISO类5功能。产品开发包括WaferMax Z (lift stage)和WaferMax T (rotary stage)，
ASR1100和ADRS旋转级，AGS1000直线电机龙门SoloistTM单轴运动控制器。
2005:发展VascuLathe这不支架制造
应用程序。其他发展包括ACS，/ACS LP旋转阶段，
Ndrive MP微型数字伺服放大器，激光转向2/5系统用于圆柱形激光加工。
2006年:航装环境试验箱。产品开发包括AMG/AMG LP直驱万向节;整体多轴,
立运动控制器;ABRS旋转空气轴承级;和腋下的大孔径，直接驱动旋转台。
2007:航空科技继续产品开发的努力与介的ATS115, ATS165, ALS130H, and ANT-LX线性阶段;AHL9000 hybrid-bearing阶段;和ABRT旋转空气轴承台。在日本设立的子公司。
2008:新产品介绍包括PRO系列直线滚珠丝杠阶段，AGS15000直线电机龙门，平面高清空气轴承，和AGR蜗杆传动回转级系列。LaserTurn1赢了
2008控制工程工程师选择奖。合奏™获胜《半导体国际2008》编辑的佳产品选择。
在中国设立子公司。
2009年:Aerotech通过产品介绍继续进行产品开发具有纳米级或更好的整条纳米定位产品分辨率、重复性、准确性和位置稳定性。
龙门结构
可配置t型机器人高达1.5米x 0.5米x0.3行程
速度高达1.4米/秒
提供了高吞吐量综合电缆管理系统(CMS)缩短您的机器构建3轴负载可达25kg，满足要求应用程序可定制的Z和/或θ轴方便任何工艺设备的集成教学模式与航空技术控制器为快速部署
AGS1200-200、AGS1400-400、AGS1500-500、AGS10500-500、AGS10750-750、AGS11000-1000、AGS20500-500、AGS20750-750、AGS21000-1000、ABG10250-、ABG10500-500、 ABG10750-750 ABG11、
直线平台
为校准而设计组装0.5 nm
闭环分辨率
完全加载空气轴承
低噪声线性放大器
完整的无触点设计

气浮
ABL1000
ABL1500
ABL15005、 ABL15010、 ABL15020、ABL15030、 ABL15040 、ABL15050
ABL2000
ABL20010、 ABL20020 、ABL20030 、ABL20040 、ABL20050、 ABL20075 、ABL20100 、ABL20120
ABL3600
ABL36025
ABL8000
ABL80020 、ABL80030 、ABL80040 、ABL80050 、ABL80075 、ABL80100
ABL/ABLH9000
ABL90300-300、 ABL90500-500 、ABLH90750-750、 ABLH91000-1000、 ABLH91200-1200
AHL9000
AHL90350-350
机械承载直线电机
无接触，无齿槽，无摩擦方向驱动
-零间隙或滞后
高分辨率(1 nm)，重复性(50 nm)，
精度(250 nm)
3纳米的位置稳定性
抗蠕动十字形四轴承
高动态性能
有X、XY、XYZ等多种选择组合
ANT-25L 、ANT-50L
ANT-LX
ANT-25LX、 ANT-50LX
ALS130
ALS130-025 、ALS130-050 、ALS130-100、 ALS130-150
ALS135
ALS135-25 、ALS135-50、 ALS135-100、 ALS135-150 、ALS135-200
ALS1000
ALS10010 、ALS10015 、ALS10020 、ALS10030 、ALS10045
ALS3600
ALS36210 、ALS36220 、ALS36230 ALS36240
ALS5000
ALS50010、 ALS50020、 ALS50030、 ALS50045、ALS50060 、ALS50075、 ALS50090、 ALS50100
Total Travel 600 mm (24 in) 750 mm (30 in) 900 mm (36 in) 1000 mm (40 in)ALS50045WB ALS50060WB 、ALS50075WB 、ALS50090WB、 ALS50100WB
ALS5000WB
ALS20000
ALS20010 、ALS20020 、ALS20030、ALS20035 ALS20045 ALS20060
ALS25000
ALS25010 ALS25020 ALS25030 ALS25045 ALS25060

机械承载丝杠平台
ATS50
ATS50-25 ATS50-50
ATS100
ATS100-050 ATS100-100 ATS100-150 ATS100-200
PRO115
ATS150
ATS150-100、ATS150-150、 ATS150-200 、ATS150-250、ATS03005、ATS10010 ATS10015 ATS10020 ATS10030ATS10040 ATS10045 ATS10050 ATS10060ATS11010 ATS11015 ATS11020 ATS11030 ATS11040 ATS11050 ATS11060ATS15010 ATS15020 ATS15030ATS20010 ATS20015 ATS20020 ATS20025 ATS20030ATS36210 ATS36220 ATS36230 ATS36240ATS50030 ATS50045 ATS50060 ATS50075 ATS50090 ATS50100ATS50030WB ATS50045WB ATS50060WB ATS50075WB ATS50090WB ATS50100WBATS62050 ATS62075 ATS62100 ATS62125 ATS62150
PRO165
ATS0300
ATS1000
ATS1100-H
ATS1500
ATS2000
ATS3600
ATS5000
ATS5000WB
ATS6200
线性执行器
LMA/LMAC
ANT-25LA

旋转平台
Aerotech的ABRS系列旋转空气轴承级提供的角度定位，速度稳定性和误差
动作表现异常低调包中。ABRS的设计是为了满足严格的要求圆片检验要求，计量，x射线衍射系统，光学检测和制造，以及MEMS/纳米器件制造。简洁的包对ABRS系列直驱旋转工作台进行了设计优化以小化舞台高度。低调的
工作台的有效工作高度降低系统，小化“堆叠”相关错误。除了整体高度低，ABRS系列提供了一个清晰的可用于产品通孔、激光波束传送、电缆间隙或特定应用
要求。的机械设计ABRS设计的特点是具有较大的空气轴承表面高刚度和承载能力，不仅生产良好的轴向和径向误差运动，但的倾斜误差运动。由此得到的面误差运动为明显优于其他回转式空气轴承工作台直接驱动，无槽无刷伺服电机零齿槽电机的速度稳定的错误运动和摆动性能
直接耦合，旋转编码器低轮廓，平面设计无机械接触主轴，大大有利于应用要求
的平面表现。无刷直驱为了大化定位性能，ABRS系列采用Aerotech的s系列无槽无刷电机。的电机采用的磁路设计生产高扭矩输出与小的热产生。的无槽设计本质上是零齿槽和扭矩撕裂自由。这使得ABRS阶段非常适合应用程序
在低速或高速下需要平滑的扫描速度。准确的定位光学编码器是标准的ABRS。当加上航空技术的反馈倍增器和控制，分辨率<0.03弧秒是可以实现的。
自定义设计
abr的自定义版本可用于费率表和惯性制导试验台应用。
气浮平台
ABRS
ABRS-150MP ABRS-200MP ABRS-250MP ABRS-300MP

ABRT
ABRT-150 ABRT-200 ABRT-260
ARA1000
北京市西城区
机械直驱平台
ACS
ACS-100-85 ACS-100-135 ACS-150-115 ACS-150-135 ACS-150-180ACS-200-155 ACS-200-185ACS-100 ACS-150 ACS-200
ACS LP
ACS-100LP ACS-150LP ACS-200LPACS-100LP ACS-150LP ACS-200LP

ADR75
ADR160
ADR160-12 ADR160-21ADR175-9 ADR175-15 ADR240-22 ADR240-59
ADR175/240
ADRH100
ADRS
ADRS-100 ADRS-150 ADRS-200
ADRT
ADRT-100-85 ADRT-100-135 ADRT-150-115 ADRT-150-135 ADRT-150-180ADRT-200-155 ADRT-200-185 ADRT-260-160 ADRT-260-180
ALAR
ALAR-100-SP ALAR-100-LP ALAR-150-SP ALAR-150-LPALAR-200-SP ALAR-200-LP ALAR-250-SP ALAR-250-LPALAR-325-SP ALAR-325-LP
ANT-20RA
ASR1000
ASR1100
ASR1200
涡轮蜗杆转台
ART50/ART100
ART300
ART310 ART315 ART320 ART330
AGR-50 AGR-75 AGR-100 AGR-150 AGR-200ARMS-150-12 ARMS-150-37 ARMS-200-56 ARMS-200-80 ARMS-260-100 ARMS-260-146AOM105-1
我们的精密AOM110系列光学支架
AOM105系列支架具有万向架设计相对较低的成本。窄型材设计允许大光圈在45°。轴是解耦的正交的;相声和迭代调整消除。大直径旋钮提供良好的分辨率
流畅的翻译。32-除法参考比例尺为设有旋钮，方便定位。万向节设计消除了串扰成本效益狭窄的概要文件多种功能
AOM105系列支架支持光学与25,50,75和100直径mm(1、2、3、4英寸)。适配器允许安装直径较小的光学在较大的AOM105系列
定位器驱动提供亚弧秒分辨能力优良的热稳定性
改进的设计现在包括非marring集螺丝和旋转夹优化的光圈在45°接受NLA嵌套的光学适配器，扩展的灵活性和多功能性真空制备和低磁干扰环境
AOM105-2 AOM105-3 AOM105-4AOM110-2 AOM110-3 AOM110-4 AOM110-6
AOM110-8 AOM110-9 AOM110-10 AOM110-12
AOM130-6 AOM130-9 AOM130-12 AOM130-16 AOM130-20 AOM130-24AOM130M-6 AOM130M-9 AOM130M-12AOM130M-16 AOM130M-20 AOM130M-24AOM300-150 AOM300-200AOM360D-20 AOM360D-30 AOM360D-40 AOM360D-50AMG-200 AMG-300 AMG-400 AMG-500 AMG-600AMG-100LP AMG-150LP AMG-200LPAVS/AVSI106 AVS/AVSI113 AVS/AVSI125 AVL125ANT-20G-50 ANT-20G-90ANT-20G-110 ANT-20G-160ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160ANT-20G-50 ANT-20G-90 ANT-20G-110 ANT-20G-160AGC-85 AGC-160 AGC-245ASR2000、ATS25-12DM ATS25-25DMATT185-3 ATT185-5Soloist、Soloist HPe Soloist HLe Soloist CP Soloist CL Soloist MPNdrive HPe Ndrive HLe Ndrive CP Ndrive CL Ndrive MPCP10 CP20 CP30 CL MP10Ensemble HPe Ensemble HLe Ensemble CP Ensemble CL Ensemble MPBA10 BA20 BA30 BA50 BA75 BA100ABS2000
BLMUC-79 BLMUC-95 BLMUC-111 BLMUC-143BLMC-92 BLMC-142 BLMC-192 BLMC-267BLM-142 BLM-203 BLM-264 BLM-325 BLM-386BLM-142 BLM-203 BLM-264 BLM-325 BLM-386BLMH-142 BLMH-202 BLMH-262 BLMH-322 BLMH-382BLMX-382 BLMX-502BLMFI-81 BLMFI-142 BLMFI-264 BLMFI-325 BLMFI-386BLMFS-81 BLMFS-142 BLMFS-264 BLMFS-325 BLMFS-386BLMFS5-142 BLMFS5-262 BLMFS5-382BLMFS2-200 BLMFS3-160 BLMFS3-220BM22 BM75 BM130 BM200BM250 BM500BM800 BM1400BM2000 BM3400 BM4500BMS60 BMS100 BMS280 BMS465S-50-39

s系列
无刷无框架扭矩马达s系列发动机是航空技术公司的无刷无框架扭矩马达。电机特性钕铁硼磁铁的大扭矩和紧凑装配中的加速度。的设计
s系列电机采用无槽定子设计和高极计数转子提供零齿槽为例外
速度稳定。贴片不含槽消除产生的转矩脉动和齿槽转矩速度扰动。s系列电动机非常适用用于直接驱动的应用，如打印和扫描不能容忍速度波动的地方。输出扭矩和通径范围宽s系列无槽电机具有广泛的扭矩范围和包装尺寸。连续扭矩范为0.20 Nm 29.09 n - m。扭矩峰值范围从0.82 N-m到116.37 n - m。s系列电机采用开放式设计适用于自定义绕组或机械变化，以满足任何要求应用程序的需要。
s系列电机是为OEM应用而设计的机器。S-50(50毫米直径)电机是理想的
小的，紧凑的空间，如主轴或小的进给辊。的S-180(直径180毫米)及S-240(直径240毫米)能否加快大型印刷滚筒或精密定位表。无槽无刷高扭矩环形电机
输出和零齿槽无框设计，便于集成到OEM机器多种绕线方式可供选择包括用于换向的霍尔效应传感器容易机集成所有的s系列电机都是两件式的，无槽定子线圈和永磁转子。定子是a标准三相线圈总成，带有霍尔效应装置。它们可以用一个简单的六步驱动或正弦驱动变换算法。Aerotech Ndrive系列放大器的性能与s系列电机相当易于集成。空心转子直接安装到a
驱动轴无需齿轮传动。可以根据您的需求设计定制的变体
少的交货时间。
北京分公司

S-50-52 S-50-86 S-76-35 S-76-85 S-76-149S-130-39 S-130-60 S-130-81 S-130-102 S-130-123S-180-44 S-180-69 S-180-94 S-240-43 S-240-63 S-240-83FiberAlign 90 FiberAlign 130FiberGlide 3D