阿尔卡特分子泵，阿尔卡特磁悬浮分子泵ATH3200M抽速

法国阿尔卡特ATH3200M磁悬浮涡轮分子泵技术参数：




轴承


五轴控制全磁浮轴承




转速


25000 min-1




对氮气的压缩比


> 1 · 10 8




大进气压力N2


2.1 hPa




对氮气的抽速


2800 l/s




启动时间


< 10 min




极限真空度


< 6 · 10-9 hPa




重量


85(分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg


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