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深圳EDI超纯水设备高纯水制取设备适用于集成电路芯片

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EDI超纯水设备
概况:高纯水制取设备、电镀用高纯水设备、药用高纯水设备、电子工业、实验室用高纯水机等高纯水是指化学纯度的水。适用于集成电路芯片,单晶硅,显象管,液晶显示器,计算机硬盘,线路板等工艺所需的纯水和超纯水制备。在光伏行业电子管生产中,如其中混入杂质,就会影响电子的发射,进而影响电子管的放大性能及寿命,在显像管和阴极射线管生产中,其荧光屏内壁用喷涂法或沉淀法附着一层荧光物质,如其配制纯水中含铜在8ppb以上,就会引起发光变色;含铁在50ppb以上就会使发光变色、变暗、闪动并会造成气泡、条迹、漏光点等废次品。因此水的质量相当重要。
二、超纯水设备用途:
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品;
2、超纯材料和超纯化学试剂;
3、实验室和中试车间;
4、汽车、家电表面抛光处理;
5、光电子产品;
6、微电子产品、显象管制造业;
7、蓄电池、锂电池、太阳能电池、干电池;
8、其他高科技精微产品;
三、工艺流程
方案1 预处理系统→复床系统→混床系统→后处理系统→用水点
方案2 预处理系统→RO 系统→混床系统→后处理系统→用水点
方案3 预处理系统→RO系统→EDI系统→后处理系统→用水点

反渗透设备概述
RO反渗透膜的工作原理是对水施加一定的压力,使水分子和离子态的矿物质元素通过一层反渗透膜,而溶解在水中的绝大部分无机盐(包括重金属)、有机物以及细菌、病毒等无法透过反渗透膜,从而透过的纯水和无法透过的浓缩水严格的分开;反渗透膜上的孔径只有0.0001um,而病毒的直径一般有0.02-0.4um,普通细菌的直径有0.4-1um。 反渗透纯水机的正常工作有赖于一定的压力,这个压力大于渗透膜的渗透压,一般是2.8公斤/平方厘米。在水压或水压不稳定的地区,我们建议您一定要购买有前段增压泵的反渗透纯水系统,它的工作压力可达0.3-0.6Mpa,不受自来水压限制,制水,速度快、排浓缩水少。反渗透技术是当今和有效的除盐技术,反渗透设备出水电阻率一般在0.05-0.5MΩ.CM.此纯水系统产水品质稳定,是目前比较通用的纯水生产设备,生产品质基本满足FPC/PCB生产需求。

2.反渗透纯水设备,EDI超纯水设备说明
1、原水箱
1)作用:克服管网供水的不稳定性,整个系统的供水稳定连续;同时也给各设备长期性能可靠提供了保障。
2)选型:PE材质或不锈钢材质水箱。
3)控制:水箱配置高水位浮球阀和低水位液位开关。其具备了可靠性高,价格低廉,结构简单,安装方便等优点。当水位处于高位时,浮球阀关闭,
停止进水。水位处于低水位时,高水位浮球阀打开,开始向水箱注水。同时,低水位液位开关断开,增压泵停止工作。
2、原水泵
1)作用:给预处理各设备提供必需的工作压力。
2)选型:根据预处理各设备设计压力降(每台过滤设备大压降0.05Mpa),以及高压泵前压力不能小于0.5Kg/cm2,确定增压泵的工作压力。
3)控制:泵后用调节阀调节压力及进水量。
3、机械过滤器(石英砂过滤器)
1)作用:原水经过机械过滤器,在过滤器中放置12-24目的石英砂,使原水中的絮凝体、铁锈等悬浮杂质在此过程中被截留。由于机械过滤器在工作中截留了大量的悬浮杂质,为过滤器的正常工作,对过滤器定期进行冲洗、反冲洗。
2)选型:选用FRP材质(玻璃钢材质)容器.
3)控制:机械过滤器的反洗操作采用手工控制器,过滤器应每天进行一次清洗,清洗时间为10-20分钟。
4、活性碳过滤器
1)作用:本工艺采用活性碳过滤器,作为反渗透装置的予处理,是非常重要的。反渗透系统要求进水指标SDI≤5,余氯<0.1mg/L。为满足其进水要求,需进一步纯化原水,使之达到反渗透的进水指标。在反渗透装置前设置碳滤器,主要有两个功能:
1、吸附水中部分有机物,吸附率为60%左右
2、吸附水中余氯。吸附粒度在10-20埃左右的无机胶体、有机胶体和溶解性有机高分子杂质以及在砂滤器中是难以去除的余氯。活性碳之所以能用来吸附粒度在几十埃左右的活性物,是由于其结构存在大量平均孔径在20-50埃的微孔和粒缝隙,活性碳的这个结构特点,使它的表面吸附面积能够达到500-2000m2/g,由于一般有机物的分子直径略小于20-50埃,因此活性碳对有机物具有很强的吸附作用。此外活性碳具有很强的脱氯能力,由于余氯具有很强的氧化性,余氯和碳起反应,生成二氧化碳和氯离子,因此只是损失了少量的碳,所以活性碳脱氯可以使用相当长的时间。活性碳不仅仅具有以上功能,还能够去除水中的异味、色素,提高水的澄明度,活性碳使用一段时间后,其吸附能力下降,需要进行再生或更换。所以,原水通过碳滤器后,能大大提高水质,减少对反渗透膜的污染,经过处理后的水质都能达到反渗透装置进水水质要求(余氯<0.1mg/L)。
2)选型:选用玻璃钢材质容器,膨胀率40%。
3)控制:活性碳过滤器的控制採用手工控制器,由于活性碳过滤器在工作中吸附了大量的悬浮杂质,为系统正常工作,每天进行冲洗、
反冲洗,冲洗过程由清洗时间为15-30分钟。
5、软化水器或加药装置
1)作用:除去水中硬度(Ca2+ 、Mg2+)的过程称为软化。本设备装填001×7强酸型Na离子交换树脂,用钠离子置换原水中的钙、镁离子,使原水中的残余硬度低于0.03mmol/L。软化的目的是防止反渗透膜表面结垢,以延长反渗透膜的使用寿命和处理效率。
2)选型:软水器为玻璃钢材质容器,
3)控制:控制系统采用手动控制阀。控制阀头可自动再生树脂,完成吸盐\反洗,正冲\注水过程。软水器配备一个再生箱,应每日检查盐箱的盐量及水量,并及时补充盐(禁止使用加碘盐及其他有添加物的盐)。
6、精密过滤器
1)作用:精密过滤又称为保安过滤器。它是原水进入反渗透膜装置前的一道处理工艺。PP过滤芯具有过滤流量大,纳污量大,压力损耗小的特点,可阻截不同粒径的杂质颗粒,集表面过滤与深层过滤于一体。精密过滤器使用一定时期后也有堵塞现象,因此,一定时期后PP熔喷滤芯更换,更换依据:精密过滤前后的压力差在0.05-0.1Mpa时更换。
2)选型:选用不锈钢材质容器.
7、高压泵
1)作用:高压泵是提供给反渗透系统所需产水流量及水质的工作压力。使过滤水经过泵体后达到10公斤左右的压力,以满足膜体的进水压力,纯水的出水量。
2)选型:根据反渗透膜所需的工作压力,采用杭州南方立式多级高压泵。
3)控制:当原水压力表指针达到2KG时,按下产水开关,高压泵启动,开始产水。高压泵前设有压力保护开关,当进水压力低于1KG时,压力保护
开关关闭,高压泵停止工作。
8、反渗透纯水设备(纯水装置)
1)作用:反渗透装置是纯化水生产线的主要部分。本装置选用日本日东电工集团美国海德能公司生产的节能型复合膜ESPA型反渗透膜元件。ESPA系列为高脱盐率苦咸水淡化膜。可在较低操作压力下,获取高水通量,其平均脱盐率99.5%。由于ESPA膜具有上述的优点,从而为水泵、压力容器、管道、阀门等配套设备的选择提供了更为广泛的空间。而且使用功率更小的电机即可满足工作的需要。同时,ESPA膜的高水通量、高脱盐率的特性,这些都使设备制造成本和系统设备投资费用大为降低,并且可大量的节省能源,降低了系统的运行费用,提高水质。
选型:美国海德能或美国陶氏反渗透膜。反渗透装置所设计的产水温度25℃,水的利用率为70%。
9、纯水箱
作用:储备反渗透产品水,并为下系统工作提供稳定的供水。
控制:水箱内设有高,低液位开关,控制高压泵和增压泵。当平衡水箱处于低水位时,增压泵自动启动,开始产水。当水箱处于高水位时,高压泵停止工作。
10、EDI超纯水设备
EDI超纯水设备的工作过程经过交流羟基离子或氢氧根离子去除不想要的离子,然后将这些离子保送到废水流中。离子交流反响在组件的纯化室中中止,在那里阴离子交流树脂释放出氢氧根离子(OH-)而从溶解盐(如氯化物、Cl-)中获得阴离子。同样,阳离子交流树脂释放出氢离子(H+)而从溶解盐中(如钠、Na+)获得阳离子。
EDI超纯水设备是应用在反渗透系统之后,它应用模块两端电极使水中的带电离子移动,并配合离子交流树脂及选择性树脂膜,以加速离子移动去除,进而抵达水的纯化,产水电阻率可抵达15--17M。

EDI超纯水设备进水要求及性能参数
进水总盐量(CaCO3计) <25ppm或50μs/cm TOC <0.5ppm PH5.0~9.0
余氯 <0.05ppm
  硬度(CaCO3计) <2.0ppm Fe、Mn、H2S <0.01ppm
  可溶硅 <0.5ppm 工作温度 5~40℃
  工作压力 1.0~2.0bar 工作压差 0.4~1.0bar
  水应用率 >95% 产水水质 >8.0MΩ.cm
  产水质量抵达16MΩ•CM以上(25摄氏度),回收率90-95%。
EDI超纯水设备优点
1、出水水质具有佳的稳定度。
  2、能连续消费出契合用户恳求的超纯水。
  3、模块化消费,并可完成全自动控制。
  4、不需酸碱再生,无污水排放。
  5、不会因再生而停机。
  6、无需再生设备和化学药品储运。
  7、设备结构紧凑,占空中积小。
  8、运转本钱和维修本钱低。
  9、运转操作简单,劳动强度低。
EDI超纯水设备装置优势
1、占地空间小,省略了混床和再生装置。
  2、产水连续稳定,出水质量高,而混床在树脂临近失效时水质会变差。
  3、运转费用低,再生只耗电,不用酸碱,俭省材料费用。
  4、环保效益显著,增加了操作的安全性。
  5、不需求酸碱化学试剂来再生(绿色环保)。
  6、与同类进口产品比,能耗降落30%左右,节约运转费用。
  7、EDI在线再生,无需加盐系统。
  8、出水水质稳定分歧。
  9、能够树立简单的EDI系统。
  10、容易完成整体式的膜块排列。
  11、重量轻,结构紧凑。

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