高真空排气台分子泵机组

本设备适用于多种密闭性容器的抽真空排气作业，包括：霓虹灯，半导体，低温容器，
实验室装备等。
设备采用的分子泵为耐大气压启动分子泵，前级泵配置油逆止阀，实现泵无返油现象，
在切断电源或突然断电后，防止返油和真空倒抽，进而完全避免了油蒸汽污染真空腔室
的可能。设备配置的高真空挡板阀采用了焊接式波纹管密封，漏率值达到了5.0x10-12Pa，
设备极限真空达到了1.5x10-5Pa。设备实现了结构紧凑、密封性能好、低能耗、性能稳定、
操作简便、方便移动等优点。
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设备技术参数：
1、自然风冷，无需水冷，方便移动；
2、使用电压：220V,380V；
3、设备总功率：1.3千瓦，2.5千瓦，3千瓦；
4、极限真空：1.5x10-5Pa；
5、设备重量：85公斤，120公斤，155公斤等；
6、抽气速率：300L/s,600L/s,1200L/s等；
7、其他：开机即可工作，无需预热等待；
8、进气接口一个或多个。