化学机械研磨抛光设备

化学机械研磨抛光设备
本实用新型涉及一种化学机械研磨抛光头压力环安装装置，包括圆形托盘、至少三滑块和至少三定位弹性组件，圆形托盘上径向设置有至少三刻度，圆形托盘上沿刻度开有滑槽，滑块可移动限位在滑槽中，滑块中至少设置一定位组件，定位组件部分凸出圆形托盘，较佳地，定位组件包括定位件和弹性件，定位件可伸缩限位在滑块中且部分凸出圆形托盘，弹性件位于滑块中并分别抵靠滑块和定位件，刻度均匀分布在圆形托盘上，安装装置还包括至少三定位直尺，定位直尺径向设置在圆形托盘上，刻度设置在定位直尺上，滑槽沿定位直尺设置，圆形托盘上设置有至少一同心圆环线，本实用新型设计巧妙，能定位安装压力环，同时具有方便快捷、易于实施的特点。
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