低温等离子体分解油雾、废气等污染介质时，等离子体中的高能离子起决定性的作用。流星雨状的高能等离子与介质发生非弹性碰撞，将能量转化成基态介质的内能，发生激发、离解、电离等一系列过程是污染介质处于活化状态。污染介质在等离子的作用下，产生活性自由基，活化后的污染分子经过等离子体定向链化学反应后被解脱。当离子平均能量超过污染介质中化学链结合能时，分子链段裂，污染介质分解，并在等离子发生器附场的作用下被收集。在低温等离子体中，可能由污染介质成分决定发生的各类化学反应，这主要取决于等离子的平均能量、离子密度、气体温度、污染物介质浓度及共存的介质成分。
等离子废气净化装置特点：
1、智能：能自动判断工作运行状态，并显示相应的工作指示灯。
2、：捕集不同粒径的油雾粒子，净化，从根本上解决了污染转移问题。
3、方便：净化单元采用分体抽屉式结构，易于安装、维护，清晰特别方便。
4、：电源控制系统可自动调节电场强度，使净化设备在长期运行后仍保持较高的净化率。
5、灵活：净化单元可以灵活组合，根据不同的净化处理量及净化率要求，单元数量可作调整。
6、稳定：电源控制系统具有过流过压自动保护装置，设备稳定。
7、节能：使用寿命长，节能（比传统技术节能50%以上）、占地面积小。
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