干式真空泵维修与保养

iGX600M 干式泵 200-230V 50/60 Hz，PN：A54632958
iGX600M 干式泵 380-460V 50/60 Hz，PN：A54632959

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
硅腐蚀
金属腐蚀
植入源



功能和优势

低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1



峰值速度： 620 m3h-1
365 cfm
10333 l min-1
极限压力： 7.00E-04 mbar
5.25E-04 Torr
0.07 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限： 1.6 kW
AUC（有源设备控制器）： 0.05 kW
水入口*： 2 slm
氮： 4 或 14 slm
占地面积（不包括排气装置）： 0.20 m2
重量： 220 kg
进气口连接： ISO100
出口连接： NW25
极限噪音： < 55 dB(A)