出售日本光驰含安装1300MM1550MM1800MM光学镀膜机/真空镀膜机

广东出售日本光驰含安装调试1300MM 1550MM 1800MM光学镀膜机/真空镀膜机介绍
真空室：SUS304,Ф1550*1800MM
工件架：Ф1400
工件架转速：10rpm to 30rpm (可变)
光学膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A
光学膜厚监控仪：波长范围: 350nm to 1100nm |反射式
水晶式膜厚计：XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源：2套日本电子24P双枪
离子源：23 寸光驰RF离子源
排气系统：机械泵1个，扩散泵Polycold 275机械泵+爱德华配套罗茨泵
性能
达到压力：7. 0X10-5Pa以下
排气时间：20分(大气压~1. 3X 10-3Pa)
基板温度：高: 350C
工作条件

电源：3相, 200v, 50/ 60Hz,约120KVA
水流量：180升/分以上
空气压力：0.5MPa以上
重量：约11000kg
光驰设备具备的光学薄膜形成装置(OTFC)及通用型光学薄膜装置(GENER)等各种装置。与此同时，通过搭载本公司自行开发的离子源，可以实现光学滤光片的量产。
介绍LED用光学薄膜、ITO膜、反射防止膜、超多层薄膜等各种光学薄膜形成装置。
光学膜厚监控仪
用于DWDM成膜用真空镀膜系统的膜厚控制。

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高NA值光学系统和低噪音电路设计，实现低噪音，相对值达到 +0.01%
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应用高分解能分光光学系，波长分解能达到0.08nm(1550nm)
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使用卤素灯光源，使用波长范围1100nm-1700nm
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运用的成膜计算控制技术,光透过率的极值监控能力可达+0.01%