JM苏州晶淼半导体硅(芯)片清洗机
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苏州晶淼半导体硅(芯)片清洗机:
该设备主要用于清除硅(芯)片表面的废屑、金属离子等物质,是硅(芯)片生产过程中重要工序。设备主要技术特点:1.可靠的控制系统;2.触摸屏控制显示 ;3.可设置和存储工艺菜单;4.高压去离子水泵5.喷头H轴Y轴调节6.在线电阻率检测水质;7.清洗后高纯氮气干燥模块;8.自动排水装置;9.对硅片定位框架的安全定位。
我们的每台设备除标准化制作外,还可根据客户的工艺需求和工作环境的具体要求,对设备进行人性化、个性化设计。