高真空光栅编码器MercuryII.6000V系列
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线性分辨率: 5μm – 0.0012μm*
旋转分辨率: 6.6k CPR – 268M CPR*
输出信号: A-quad-B 带零位，串口，以及模
拟带零位；
光栅尺：线性或旋转玻璃
外形尺寸：
22.6 x 12.7 x 8.1 毫米
真空度：
10-8 Torr