晶圆测试探针台

型号 SE-4 SE-6 SE-8 SE-12
外形 580mm长*620mm宽*730mm高 640mm长*700mm宽*730mm高 660mm长*660mm宽*700mm高 1030mm长*820mm宽*730mm高
重量 约70KG 约80KG 约85KG 约180KG
电力需求 220VC,50~60Hz
样品台 尺寸 4英寸，可360度旋转 6英寸，可360度旋转 8英寸，可360度旋转 12英寸，可360度旋转
X-Y行程 4英寸*4英寸 6英寸*6英寸 8英寸*8英寸 12英寸*12英寸
Z轴行程 6mm（快速切换）/6mm（微调）
移动精度 10um/1um
样品固定方式 真空吸附
背电极测试功能 有，样品台电学立悬空
针座平台 U型平台，多可放置6个针座 U型平台，多可放置8个针座 U型平台，多可放置10个针座 U型平台，多可放置12个针座
光学特性 显微镜行程 X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴：50.8mm
显微镜移动精度 1um
切换镜头方式 显微镜快速倾仰30度 注1
放大倍数 16~100X/20~4000X
镜头规格 目镜：10X；物镜：5X,10X,20X,50X、100X（选配）
CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字）
点针规格 X-Y-Z行程 12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm
机械精度 10微米/2微米/0.7微米/0.1微米
漏电精度 10pA/100fA （配置屏蔽箱时）
接口形式 香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴接口
应用方向 芯片及LD/LED/PD测试，PCB/封装夹具测试，射频测试等。
可选附件 显微镜倾仰装置（倾仰30度）
显微镜气动升降装置
激光微加工
探针卡夹具
显微镜暗场/DIC/Normarski 检测光强/波长测试接口部件
液晶漏电分析套装
高压/大电流测试套件
加热台
高低温样品台
屏蔽箱
转接头
防震台
镀金卡盘
同轴叁轴卡盘
样品台快速升降，微调升降装置选件
样品台旋转微调选件
光强/波长测试选件
射频测试附件
有源探头
低电流/电容测试
兼容积分球测试选件
光纤夹具耦合测试选件
PCB/封装夹具测试选件
特殊定制
特点 1.显微镜龙门柱式设计，可使显微镜在平面内移动。
2.显微镜可倾仰或气动升降，便于更换物镜。
3.可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用。
4.同轴驱动卡盘，移动精度高。