热式气体质量流量控制器与热式气体质量流量计

气体质量流量控制器（Mass Flow Controller ）/气体质量流量计(Mass Flow Meter)可以对气体的质量流量进行精密测量和控制。它们在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括: 电子工艺设备, 如扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入; 以及镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪及其它分析仪器等。对产品性能和生产工艺的不断改进，质量流量控制器具有精度高、重复性好、响应速度快、软启动、稳定可靠、工作压力范围宽等特点。
满量程流量范围(N2) 5SCCM～20SLM
准确度 ±2％F.S.
线性 ±2％F.S.
重复精度 ±0.5％F.S.
响应时间 ≤30sec
流量输出信号 0～+5V
流量设定信号 0～+5V
电器接口 DB15 pin(连接器)
工作环境温度 5～45℃
工作环境相对湿度 40～60%
工作压力范围 0.05～0.3MPa
漏率 1×10-6SCCS.He
高耐压 3MPa
压力系数 ±1.5％F.S./MPa
温度系数 ±0.2％F.S./℃
本体材质 304，316，316L不锈钢（可选）
密封材料 氟橡胶，硅橡胶，丁腈橡胶，聚四氟乙烯
管道接口 Swagelok标准双卡套，连接管径φ6mm
电源要求 +15V,50mA；-15V,200mA
重量 流量计0.72KG/控制器0.88KG