单晶炉晶棒直径视觉检测系统
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本公司自主研制的单晶炉晶棒直径视觉检测系统,采用机器视觉技术对单晶炉内晶体生长过程中晶棒直径进行实时检测,并将检测结果实时输出到系统控制单元。控制单晶硅炉拉晶转速和抬速,提高晶体柱的品质,真正实现无人值守的全自动操作。系统采用无接触式测量,操作安全,检测精度高。系统设备小巧,易于安装,能应用到各种规格的直拉式单晶硅生长炉实现全自动操控。系统操作快捷、简便、、高稳定性、适应高温环境!
产品特点:
◊ 检测精度高,能满足要求;
◊ 检测实时性强,在拉晶的过程中同步输出,响应迅速;
◊ 适应炉内高温环境,在强光源下能够保持稳定检测;
◊ 检测结果不受晶柱晃动和液面波动的影响;
◊ 具有鲁棒性,能适用于各种直径、规格的晶体生产;
◊ 友好、易用、可扩展的视觉处理软件;
◊ 采用标准化的网络输出和串口输出,适应性强;
◊ 实现长时间稳定工作,高可靠性;
◊ 可自由调节设备高度和角度,配合多种单晶炉设备;
◊ 检测装置设备小巧,易于安装,调试简单方便。