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利用介质放电产生的等离子体以极快的速度反复轰击废气中的气体分子，去激活、电离、裂解废气中的各种成分，通过氧化等一系列复杂的化学反应，使复杂大分子污染物转变为一些小分子的安全物质(如二氧化碳和水)，或使有毒有害物质转变为无害或低毒低害物质。
等离子工业废气治理优势：
该法消耗低，具有装置简单，易于操作，占地面积小，使用方便等优点，但是在实际应用中存在着净化效率低的问题。由于是一项新技术，人们对于其作用机理研究不够充分，还没有形成规律性认识，很多企业只是在模仿这项技术，并没有真正掌握真正的核心技术。
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