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供应衡水电子车间洁净室中天净化

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电子行业,特别迅速发展的亚微米工艺对生产场所空气洁净度要求特别高,在对洁净度的提出更高要求方面,电子工业是促进前进动力。集成电路光刻工艺的尺寸是推动洁净室要求向前发展的决定因素,技术越进步,尺寸就越小,如果落在集成电路上的粒子大于小尺寸的1%--2%,就会使集成电路成为废品,金属粒子、离子、细菌都是生产废品的元凶。空气洁净度的好坏直接影响电路生产的成品率。同时,对微电子产品的功能要求越高,投资规模越来越大,就对质量水平的要求越来越严格,电子工业成为世界上大的工业部门,预计再2012年,小的光刻尺寸可达到0.5微米。微电路存储量可达64千兆,世界上大部分在建的洁净室都用于微电子工业,每年建造和使用费用可达百万美元。
净 化原理
气流→初效净化→空调→中效净化→风机送风→管道→净化风口→吹入房间→带走尘埃细菌等颗粒 → 回风百叶窗→初效净化 重复以上过程,即可达到净化目的。
净化参数
换气次数:100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次。压差:主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速:10级、100级0.3-0.5m/s;温度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃。
温度45-65%;GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜;电子车间湿度略高以免产生静电。
噪声≤65dB(A);新风补充量是总送风量的10%-30%;照度300LX。。。
结构材料
1.净化厂房墙、顶板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强。圆弧墙角、门、窗框等一般采用氧化铝型材制造。
2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板,不生锈不粘尘,宜清洁。

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北京中天净化工程有限公司
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