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特别是近年来随着冷氢化技术的发展，四氯化硅被充分利用起来，污染物处理的难题随即转向了流动态固液混合硅渣浆的处理。

绝大多数多晶硅生产企业采用碱液水解中和的方法来处理排放废液

但是这种处理方法存在着许多局限性要中和水解废液的三氯氢硅和四氯化硅，需要耗费大量的水和碱液，原材料的成本很高。水解、中和过程中会产生大量的盐酸和反应热，对设备造成腐蚀，设备运行寿命缩短。浆料中的大量三氯氢硅、四氯化硅成分是制备多晶硅的原料，直接使其被水解中和消耗掉，大大降低了原料的利用率 。

可利用工艺介质三氯硅烷作密封液，在高低密封腔配以迷宫式辅助密封，从而增大封液流动阻力，降低副密封腔的密封压力，确保无有害介质外漏。

此外，还采用了可在轴向、径向和角向起补偿作用的轴封全维补偿器，成功克服了搅拌轴挠度和转角变形带来的机械密封安装问题，提高了机械密封的使用寿命 。

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