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蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 

对于溅射类镀膜,可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。

在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,约为100A),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 

溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

悬浮式高真空卷绕式镀膜机的卷绕控制要求的转矩控制,以般采用直流驱动,但是随着交流驱动技术的飞速发展,现在逐步采用交流永磁同步伺服电机或交流异步电机驱动。丹佛斯FC302系列驱动器具有伺服级的驱动性能,驱动交流异步电机也有实现平稳的转矩控制,为这个行业提供了一种易用的解决方案,用户只需要设置几个简单的参数,就能满足实际生产需求,操作和调试也非常简便。
  一、悬浮式高真空卷绕式镀膜机的传动结构:
  放卷转向为正
  放卷转向为负
  3驱动悬浮式高真空卷绕式镀膜机的典型传动结构,其中:
  M1为冷却辊,直径恒定,由一台FC302驱动,冷辊的速度即为镀膜的线速度。
  M2为收卷辊,中心卷绕,直径逐步变大,由一台FC302驱动,提供收卷张力。
  M3为放卷辊,中心卷绕,直径逐步变小,由一台FC302驱动,提供放卷张力。
  冷却辊和收卷辊的转向是固定的,但是放卷辊由于卷筒卷绕方向不同,工作时有正、反两种转向,对应反、正两种转矩。

  真空镀膜机传动系统的特点:
  1.由于真空室狭小,无法安装张力检测装置,所以收、放卷张力完全要靠收、放卷驱动的电机直接控制。因此收、放卷驱动器都工作于转矩工作模式。对于较轻较薄的材料,收卷还有张力锥度功能。
  2.由于工艺方面的原因,起主传动作用的冷却辊上没有压辊,因此冷却辊只能靠摩擦力带动薄膜;收、放卷张力相差较大时,薄膜很容易在冷却辊上打滑。如何防止打滑是驱动控制方面的难题。

现场实际运行证明丹佛斯FC302驱动器+MCO305运动控制器的解决方案完够满足真空镀膜机的卷绕控制要求。整机加减速速度超过原来的控制方式,大大减少了原材料的浪费。控制系统调试和参数设置都比较方便。令客户满意的是电机可以采用比较经济的交流异步电机,在张力控制精度要求更高的场合才需要升级使用交流永磁同步电机。由于FC302既能驱动异步电机,又能驱动同步电机,系统升级时只需简单地更换电机即可。

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