江苏滨海控制柜回收江苏滨海多晶硅铸锭炉回收

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提拉式单晶炉技术参数1、电源电压：380VAC±5%2、电源频率：50HZ 3、电源相数：3相3线制4、变压器容量：190KVA5、加热器加热功率：160KW6、加热温度：1600℃7、加热器加热电压：60V8、冷炉极限真空度：＜a9、晶体直径：￠6〞～￠8〞10、熔料量 ：90Kg11、主炉室尺寸：φ900×1250mm上炉室尺寸：φ900×900mm下炉室尺寸：φ900×350mm12、翻板阀通径：φ280mm13、封头炉盖高度：410mm14、副炉室尺寸：φ280×250015、籽晶转速范围：1～40rpm16、籽晶拉速范围：0.2～8mm/min17、籽晶快速：≥350mm/min18、籽晶在炉内有效行程：3500mm19、籽晶在副室内有效行程：2100mm20、坩埚升速范围：0.02～1mm/min21、坩埚快速：≥100mm/min22、坩埚在炉内有效行程：400mm23、坩埚转速范围：1～30rpm24、两个电极孔孔距：480mm 25、耗水量：25m3/h26、主机占地面积：2500x2000mm27、主机高度：6800mm28、主机重量：约7500Kg蓝宝石长晶炉回收，多晶硅铸锭炉回收，提拉式长晶炉回收，多晶长晶炉回收，卧式长晶炉回收，拉式单晶炉、收购直拉式单晶炉-85型/90型/95型/100型种种整套单晶回收提炉装备、分子泵回收，真空泵回收，真空流量计回收，plc编程回收，控制屏回收，离子泵回收，涡轮分子泵回收，螺杆真空泵回收，涡旋高真空泵回收，半导体级直拉法的工艺控制\进入21世纪以来,随着新兴产业的科技创新,半导体行业得到了的发展。半导体产业发展迅猛,尤其近几年,大力发展半导体产业,缩短该行业与世界水平的差距。目前虽然有许多新兴材料来替代硅材料,但未来几年可以预见,硅材料由于其成熟的技术品质和稳定的物理化学性质,将会在相当长的一段时间里是主流材料。硅单晶作为主要材料,应用的领域也是相当广泛的。硅单晶是由多晶硅原料经过物理变化,让硅原子按照人为设定的方向进行生长,终形成的。一般会采用直拉法进行制备。晶圆的直径越大,集成电路制造的成本将会越低,因此要求作为材料的硅单晶的直径也要相应的增大。这里面涉及到了一系列问题。这篇论文主要讨论的是通过对热场的设计,工艺的过程控制,减少位错的产生,以及通过化学腐蚀对位错进行检测的相关问题。

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为了配合di76．Zmm器件生产线的发展，我所研制了国内台15～30公斤的DL。78型单晶炉［‘］，并在该单晶炉上研究了48Omm硅单晶的控制工艺［‘］。在控制大直径硅单晶的过程中，涉及的面比较广，尤其是从我国原有1公斤、th3orum级的基础上跳跃到12公斤、680mm硅单晶的拉制工艺，需要研究讨论的问题很多，例如，热场的设计、减压工艺的设计与调整