明通重型物流光伏半导体

半导体类设备搬迁是明通“设备搬迁”产品的一个细分类别，因其生产厂家多、品种发展快，致设备门类及型号较多，可包括：晶圆清洗设备、热处理设备、离子注入设备、PVD（物理气相沉积）设备、光刻设备、涂布/显影设备、刻蚀/去胶/灰化设备、CMP（化学机械抛光）设备/电镀系统设备、半导体工艺用石墨元件等不同类别设备及器材等，凡以上设备器材纳入重型物流工程项目的，统称为半导体类设备搬迁。