江苏浦口涡轮分子泵回收江苏浦口蓝宝石单晶炉回收
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半导体级直拉法的工艺控制\进入21世纪以来,随着新兴产业的科技创新,半导体行业得到了的发展。半导体产业发展迅猛,尤其近几年,大力发展半导体产业,缩短该行业与世界水平的差距。目前虽然有许多新兴材料来替代硅材料,但未来几年可以预见,硅材料由于其成熟的技术品质和稳定的物理化学性质,将会在相当长的一段时间里是主流材料。硅单晶作为主要材料,应用的领域也是相当广泛的。硅单晶是由多晶硅原料经过物理变化,让硅原子按照人为设定的方向进行生长,终形成的。一般会采用直拉法进行制备。晶圆的直径越大,集成电路制造的成本将会越低,因此要求作为材料的硅单晶的直径也要相应的增大。这里面涉及到了一系列问题。这篇论文主要讨论的是通过对热场的设计,工艺的过程控制,减少位错的产生,以及通过化学腐蚀对位错进行检测的相关问题。
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全文摘要为减少直拉式单晶生长炉的消耗的技术问题,本发明提供了一种直拉式单晶生长炉,其包括输入管、与输入管相连通的环形气体分布器;其特征在于经输入管输入的气压为0.8×103Pa0.9×103Pa,流量为30L/min。还包括设于坩埚支持器下方和排气口之间的碗形气流导向装置;其包括中轴孔、一对电极孔、以及与排气口相对的通气孔;石墨中轴穿过所述气流导向装置的中轴孔,所述电极柱分别穿过所述电极孔,排气口与气流导向装置的各通气孔相连通,气流导向装置的上端部设于保温筒与发热体之间。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,所述热场73套装在化料器坩埚72的外侧,便硅料依次进入加料坩埚62、装料器71和化料器坩埚72,并在化料器坩埚72内经热场73熔化后又进入主炉室坩埚21,为了方便外部加料器6的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器6升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器6旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器6通过加料器旋臂8连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂8升降,并通过加料器旋臂8带动外部加料器6升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂8之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂8一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂8旋转,加料器旋臂8又带动外部加料器6旋转。