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美国KAYEX\国外以美国KAYEX 为代表,生产全自动硅单晶体生长炉。KAYEX是目前世界上,进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初进入市场,已成为半导体行业使用多的品牌。该生长的硅晶体生长炉从抽真空-检漏-熔料-引晶-放肩-等径-收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好,直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、 KAYEX120PV、KEYEX150,Vision300型,投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。
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进一步为了方便外部加料器的移动、拆卸和清理,连续拉晶单晶炉还包括用于驱动外部加料器升降的加料器升降驱动装置和用于驱动外部加料器旋转的加料器旋转驱动装置,所述外部加料器通过加料器旋臂连接在加料器升降驱动装置上,以便通过加料器升降驱动装置驱动加料器旋臂升降,并通过加料器旋臂带动外部加料器升降,所述加料器旋转驱动装置连接在加料器升降驱动装置和加料器旋臂之间,以便加料器旋转驱动装置随加料器旋臂一起升降,并通过加料器旋转驱动装置驱动加料器旋臂旋转,加料器旋臂又带动外部加料器旋转。进一步提供了一种加料器升降驱动装置的具体结构,所述加料器升降驱动装置包括升降丝杆、拖板和丝杆旋转驱动装置,底座上设置有立柱,所述升降丝杆可旋转地支承在立柱上,所述拖板通过螺纹连接在升降丝杆上,所述加料器旋臂连接在拖板上,所述升降丝杆连接在丝杆旋转驱动装置上,以便通过丝杆旋转驱动装置驱动升降丝杆旋转,进而将升降丝杆的旋转运动转换为加料器旋臂的升降运动。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,设计与仿真编辑在直拉法生长硅单晶的过程中,硅单晶生长的成功与否以及质量的高低是由热场的温度分布决定的。温度分布合适的热场,不仅硅单晶生长顺利,而且品质较高;如果热场的温度分布不是很合理,生长硅单晶的过程中容易产生各种缺陷,影响质量,情况严重的出现变晶现象生长不出来单晶。因此在投资硅单晶生长企业的前期,一定要根据生长设备,配置出合理的热场,从而保生产出来的硅单晶的品质。在直拉硅单晶生长工艺中,一般采用温度梯度来描述热场的温度分布情况,其中在固液界面处的温度梯度为关键。数值模拟是在一个低成本的情况下,利用电脑计算提供的详尽资料,用以支持真正的(且昂贵)实验。

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