前面已经提到碳氢清洗剂可分为正构烃、异构烃、环烷烃和芳香烃等。其特点为：
1、对金属加工油的清洗力强→由于表面张力小，细缝、细孔部的清洗效果好。
2、对液晶污物，尤其是联苯系污物的相溶性好。
3、近期已有了各种污物（水溶性加工油、login、flaks）具有清洗作用的清洗剂。
4、不腐蚀金属。
5、对树脂的影响小→正构烃、异构烃、环烷烃。
6、大多数碳氢系清洗剂经过蒸馏可以再循环利用，使用经济。
减少残油量的方法：
1、减少附着的清洗剂量。
2、减少附着清洗剂中的加工油量。
附着清洗剂量的方法主要由产品的形状、表面粗糙程度、清洗剂性质（表面张力、膜厚等）决定，因此通过在清洗设备上采取相应措施如除液法（旋转除夜等）、除液时间（长时间）、温度（高温下降低粘度）等。
降低附着清洗剂中加工油的量的方法有设置润湿槽、增加润湿槽数量清洗设备方面的相应措施以及终清洗采用新清洗液，设备蒸馏再生机使润湿槽内加工油浓度控制在一定量以下等。液体管理措施。
介绍前面提到的蒸馏再生。清洗剂可由于被清洗物上附着的污物（加工油、润滑脂、防锈油、蜡、液晶等）的混入，主要成分的分解、添加剂的消耗等原因被污染从而变质，随污染变质的进行清洗剂将逐渐不能再使用。蒸馏再生装置利用液体的沸点随压力降低而降低的性质进行减压蒸馏，只回收清洗液中的清洗剂而将加工油等作为废液处理的方法。
滤器除去溶剂中的金属粉等杂质，用预热器加热溶剂使之汽化，通过分离槽除去不纯物。再生后的溶剂经凝气液化，暂时停留在溶剂回收槽后返回清洗槽。
一般的运行条件为压力50～100Torr 温度90～120℃，要得到纯度较好的回收品提高回收率可根据清洗液和加工油的性状改变上述条件。一般提高了回收品的纯度其回收率便降低，要得到高回收率其纯度低。