Atmax喷嘴在半导体制造领域的应用示例喷嘴AM型

Atmax喷嘴在半导体制造领域的应用示例喷嘴AM型

精密涂层

由于可以雾化和喷射少量液体，因此可以在半导体和电子元件制造过程中通过喷涂形成薄膜。
与其他喷涂系统相比，喷涂工艺易于控制，设备配置也很简单。它的特点是使用一个喷嘴的条件范围很广，从厚涂层到薄膜。

精密设备清洗

尖锐的粒度分布使其适用于需要度的清洁。与常规喷嘴相比，Atmax喷嘴雾化所需的冲击流速较小，因此冲击力小且射流流速适中。

使用特的液体剂进行涂层工作

有两个主要组成部分。标准喷嘴材料是SUS316L，因为它是非常简单的组件结构，但是可以使用与使用环境相匹配的材料进行制造。另外，在液体接触部分中不使用O形圈。

使用细颗粒的加工工作

可以容易地连续注入包含固体的浆液。为了通过喷雾获得雾化，从小孔口喷射是通常的理论，但是Atmax喷嘴能够雾化大直径的喷射。

Atmax喷嘴AM型

Atmax Nozzle AM型能够地喷涂非常少量的液体试剂，从而获得平均粒径约为5μm的细颗粒。它是一个非常小的喷嘴，可以与20至750瓦特的空气压缩机一起使用。