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在该炉工作前,由设于排气口 13上的真空泵将炉内空气排尽,然后从 该炉上端充入。工作时,炉内的石英坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘 杂质生成,因此在不断充入的同时,所述真空泵同时将一氧化硅、粉 尘杂质与等的混合气体排出,其中,气体的流动过程为从石英坩埚上 方经坩埚支持器14与发热体16之间的间隙,以及发热体16与保温筒17 之间的间隙流入气流导向装置20,然后经图6中的气流导向装置20的一对 通气孔2-3、通气管19从排气口 13排出。本实施例的气流导向装置20可有效减小炉内空间(尤其是坩埚支持器 14下方的空间),便于排气,且利于减少热能和的消耗量;另外,
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直拉法,也叫切克劳斯基(J.Czochralski)方法。此法早在1917年由切克劳斯基建立的一种晶体生长方法,用直拉法生长单晶的设备和工艺比较简单,容易实现自动控制,生产,易于制备大直径单晶,容易控制单晶中杂质浓度,可以制备低电阻率单晶。据统计,世界上硅单晶的产量中70%~80%是用直拉法生产的。江南电力光伏科技有限,引进消化吸收国外技术研发环保清洁可再生新能源产品——太阳能光伏发电站和风力发电站的相关设备。其中硅单晶生长炉设备有两大系列三个品种,具有自主知识产权。生产的单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)单晶硅生长炉(TDR85/95/105-JN)DR—JN系列全自动晶体生长炉具有自主知识产权,是采用直拉法生长P型或N型单晶硅材料的设备。装料量从95Kg~150Kg,可拉制6"~12"电路级和太阳能级单晶硅棒。分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,进一步为了当不再继续加料时,可以更方便地将外部化料器提升不干涉主炉室坩埚上升的位置,并方便外部化料器的移动、拆解和清理,连续拉晶单晶炉还包括化料器升降驱动装置和化料器旋臂,所述底座上设置有立柱,所述化料器旋臂铰接在立柱上,所述化料器升降驱动装置连接在化料器旋臂上,所述外部化料器连接在化料器升降驱动装置上,以便在不继续加料时,通过化料器升降驱动装置驱动外部化料器上升不干涉主炉室坩埚上升的位置;和化料器升降驱动装置及外部化料器随化料器旋臂一起转动。进一步提供了一种化料器升降驱动装置的具体结构,所述化料器升降驱动装置包括支撑杆、丝杠、电机和连接块,所述支撑杆连接在化料器旋臂上,所述丝杠可旋转地支承在支撑杆上,所述电机连接在丝杠上,所述连接块通过螺纹连接在丝杠上,所述外部化料器连接在连接块上,以便通过电机驱动丝杠旋转,进而将丝杠的旋转运动转换为连接块的直线运动,并通过所述连接块带动外部化料器升降。

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