前开式晶圆传送盒（FOUP）

前开式晶圆传送盒（FOUP）指用于传送、保护并存储晶圆的晶圆载具，其内部含有前开式容器，可容纳25片晶圆。与其他晶圆载具相比，前开式晶圆传送盒具有能提高晶圆产量、提升晶圆良品率、无静电损害等优势，可用于传载12英寸晶圆。         晶圆载具种类丰富，包括晶舟、晶圆盒、前开式晶圆传送盒（FOUP）、前开式运输盒（FOSB）等。不同类型产品，其性能及作用也有所不同。前开式晶圆传送盒属于晶圆载具，在大尺寸晶圆加工过程中应用较多。