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单晶炉构成编辑=提拉头:主要由安装盘 减速机 籽晶腔 划线环 电机 磁流体 籽晶称重头 软波纹管等其他部件组成/副室:主要是副室筒以及上下法兰组成/ 炉盖:副室连接法兰,翻板阀,观察窗 抽真空管道 组成/炉筒:包括取光孔下炉筒:包括抽真空管道/底座机架:全铸铁机架和底座/坩埚下传动装置:主要由磁流体 电机 坩埚支撑轴 减速机 软波纹管 立柱 上下传动支撑架 导轨 等部件组成/分水器已经水路布置:包括分水器,进水水管,若干胶管 水管卡套等/管道布置:质量流量计 3根以上的柔性管 不锈钢管 3个压力探测器 高密封性卡套 等部件/真空泵以及真空除尘装置:油压真空泵 水环真空泵 过滤器 真空管道 硬波纹管等/电源以及电控柜:电源柜 滤波柜 控制柜 以及连接线
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其中,直接有效的方法是提高生产时效,增加单炉的月产能。笔者长期从事单晶生产工作,经调研与现场试验,采用离线装料技术不仅可以缩短运行周期、提高工作效率,而且可以确保坩埚内所装硅料的洁净度,具有较强的实用性和经济推广价值。1离线装料的工作原理使用一个真空吸盘和一个特制的密封圈与装满多晶硅原生料的石英坩埚密封,分子泵回收,真空泵回收,真空流量计回收,plc编程回收,控制屏回收,离子泵回收,涡轮分子泵回收,螺杆真空泵回收,涡旋高真空泵回收,单晶炉设备知识、部分电控柜1.两个滤波器的作用型号,原理以及正常工作的电压,输入输出(好坏如何检测)2.两个伺服驱动器的作用原理型号以及相关判断方式,输入输出(好坏如何检测)3.两个一般驱动器的作用原理型号以及判断方式,输入输出(好坏如何检测)4.继电器的型号作用以及类别,输入输出(好坏如何检测)5.反馈放大板的作用原理以及各元件名称作用和原理图,输入输出(好坏如何检测)6.